8英寸硅基氮化镓产业化

发布时间：2021-01-12 来源：国家科技成果信息服务平台浏览量:7

基于对8英寸硅基氮化镓产业化的关键技术研究，解决产业化过程中的器件设计、外延生长、工艺制造、期间可靠性等问题，达到8英寸氮化镓晶圆年产能2万片，实现技术水平与出货量达到世界领先

责任编辑：黄俊伟

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