微型集成式固体电解质环境监测气体传感器

    随着工业化进程的加速推进，人类社会各方面的发展对化石燃料的消耗与日俱增，而由此产生的大气环境污染问题也愈发严重，对人类的生存和健康、自然生态环境造成极大的损害。基于固体电解质的气体传感器，结合先进的MEMS 和镀膜技术，对于CO2、SO2等污染性气体浓度的实时监测、防治十分重要。

    项目以Li3PO4、Li3PO4-Li2SiO3薄膜固体电解质薄膜作为导电介质，研制CO2、SO2等环境监测气体传感器。通过固体电解质薄膜的CO2、SO2气体传感器的响应原理分析，设计了集成式环境监测气体传感器，选择了合适的反应电极材料，结合MEMS 薄厚膜工艺，采用热阻蒸发镀膜工艺沉积Li3PO4 固体电解质薄膜，丝网印刷厚膜技术制备反应电极和加热电极，完成了集成式微型CO2、SO2气体传感器的研制、封装、测试，为工业应用奠定了基础。微型气体传感器可实现CO2、SO2气体的高精度监测，并具有体积小、功耗低、成本低的特点

责任编辑：黄俊伟