8英寸硅基氮化镓产业化

发布时间:2021-01-12    来源:国家科技成果信息服务平台    浏览量:7

    基于对8英寸硅基氮化镓产业化的关键技术研究,解决产业化过程中的器件设计、外延生长、工艺制造、期间可靠性等问题,达到8英寸氮化镓晶圆年产能2万片,实现技术水平与出货量达到世界领先


责任编辑:黄俊伟

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